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無掩膜光刻系統
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UTA-IA無掩膜光刻機
更新時間：2025-01-24
訪問次數：4333
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無掩膜光刻機UTA系列是將DLP投影儀盒金相顯微鏡相結合的縮小投影型無掩模曝光系統，其傳統系統（用于掩膜光刻的圖案投影曝光系統）可以使用專門為此目的開發的軟件來創建想要的圖案。

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